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锤子
GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法.pdf
- 类别：标准
- 上传人：yuxinlai06
- 上传时间：2014/3/2 5:39:45
- 文件大小：371K
- 下载次数：5
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简介：
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。 本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。
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