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电子背散射衍射(EBSD)技术出现于20世纪80年代末,经过十多年的发展已成为显微组织与晶体学分析相结合的一种新的图像分析技术。因其成像依赖于晶体的取向,故也称其为取向成像显微术 [1-3] 。从一张取向成像的组织形貌图中,不仅能获得晶粒、亚晶粒和相的形状、尺寸及分布的信息,而且还可以获得晶体结构、晶粒取向相邻晶粒取向差等晶体学信息,可以方便的利用极图、反极图和取向分布函数显示晶粒的取向及其分布。
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