原子力显微镜的纳米压痕及纳米刻蚀

  1. 类别:仪器样本
  2. 上传人:NT-MDT
  3. 上传时间:2014/5/4 16:20:23
  4. 文件大小:1797K
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简介:

原子力显微镜的纳米压痕及纳米刻蚀功能是在原子力显微镜的基础上,开发出来的使用刻蚀针尖在样品表面进行压痕和刻蚀,可以得到纳米尺度的压印及图案刻蚀。

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