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锤子
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介绍了扫描电子显微镜(SEM ) 的基本工作原理, 着重分析了在SEM 初始电子束作用下, 各种成像信 号产生的方式及其特点, 确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为SEM 的最终信号源。 针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷, 介绍了解决办法, 从而使SEM 的成像性能得以大幅提高, 使用范围 大为扩展。
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