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锤子
用户论文(2006):<b>《稀有金属材料与工程》</b>一种新的β 二酮铱MOCVD 前驱体
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：上海爱建纳米科技发展有限公司
- 上传时间：2006/9/29 15:15:20
- 文件大小：509K
- 下载次数：271
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简介：
从铱盐和配体2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮(thd)出发合成了一种新的β 二酮前驱体Ir(thd)3，通过元素分析、红外 光谱、核磁共振氢谱等手段对合成的前驱体进行了结构表征。热重分析表明，当温度升到290℃，前驱体基本挥发完全。 使用合成的前驱体通过MOCVD 沉积制备铱薄膜，利用XRD 和AFM 分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征。 结果表明，所得到的薄膜的物相为铱晶相，无其它的杂质峰存在，薄膜表面连续、致密。
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