原子力显微镜技术史

SPM（AFM和STM）的发展史研究是一个追本溯源的工作.目前为止据我所知比较好的是Pacific Nanotechnology（http://www.pacificnanotech.com/）在其网站上发布的History of Atomic Force Microscopy. 简单来说就是1929年Schmalz发明了stylus profiler，利用一个optical lever arm来检测悬臂末端探针的运动，表面形貌数据是记录在相纸上，放大倍数1000倍，缺点是因为探针和样品表面是接触的，所以会发生“probe bending”,1971年Russell Young发明了非接触型stylus profiler,命名为Topographiner,通过检测金属探针和表面之间的电子场发射流来探测物体表面。1981年Binning 和Rohrer参考Russell Young的仪器发明了STM，但是STM只能检测导电样品，具有很大的局限性，因此1986年Binning和Quate发明了原子力显微镜