氧化硅材料的粒度测量
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:东方科捷
- 上传时间:2014/6/20 15:18:31
- 文件大小:172K
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简介:
氧化硅是一种常用的矿物材料,从研磨剂到填料以至作为提高物性用的添加 剂,它有一个广泛的使用范围。 高纯度要求的打磨剂如 CMP 需要次微米级颗粒,通常使用沉淀法或发烟法加 工。最常用的或大颗粒的氧化硅,是把天然原料如砂石或石英进行分类,研磨后再加工的。
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