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GBT 19502-2004 表面化学分析 辉光放电发射光谱方法通则 辉 光 放 电发射光谱法(GI}OES)用于测定固体样品的化学成分,它既可以进行体材分析,也可以进 行深度剖析。体材分析时,对样品中元素含量在深度方向上的变化认为是可以忽略的;而深度剖析的主 要目的通常是要获得浓度随深度变化的信息。辉光放电发射光谱法深度剖面的厚度范围从几个纳米到 一百微米左右。
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