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锤子
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随着半导体产业升级,快速发展,各个芯片生产商间的竞争也不断加剧,尤其是产量和质量更为明显,为了促进生产效率的提升,设备的产能要求也不断提升,而SAT、SST工作台的研发,满足了化学液清洗、刻蚀、去胶、干燥等多个工艺环节的需求,集多个工艺环节于一个工艺腔体,减小净化间使用面积、耗材使用量、人工操作时间,提高了生产效率"SAT应用广泛,可以用于晶片表面氧化物的去除、金属刻蚀、金属离子清洗去除"而SST则用于半导体工艺中的显影、光刻胶去除工艺"对集批量生产与降低生产成本优点于一体的这两种设备,对于半导体生产商来说是提高竞争力的首选设备,对此,各国对这类设备均进行了研究。
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