消耗积分 : 免积分
椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法,它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中,使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电极、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电极中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。
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