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锤子
《集成电路制造工艺原理》教学教案
- 类别：其他资料
- 上传人：流哈喇的呆瓜
- 上传时间：2007/3/27 9:33:56
- 文件大小：346K
- 下载次数：43
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简介：
课程介绍及论 第一章 衬底材料及衬底制备 第二章 外延工艺 第三章 氧化艺 第四章 掺杂工艺 第五章 光刻工艺 第六章 制版工艺 第七章 隔离工艺 第八章 表面钝化工艺 第九章 表面内电极与互连 第十章 器件组装
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