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与大多数仪器分析方法相同,ICP-MS不能直接给出一个元素或同位素的浓度绝对值,而始终是一种比较技术。从ICP-MS仪器上测得的数据的定量化是通过将未知样品上测得的计数与待测元素或同位素含量为已知的一种物质上测得的计数作比较而实现的。不管被分析的样品以何种形式存在,其校准方法一般都是类似的。另外,样品和标准的物理形式通常都保持一致,即固体样品用固体标准校准,虽说有时也有一些例外。对于元素测定来说,标准的分析可在未知样品的分析之前进行,然后将测得的每个样品的计数与标准校准数据进行比较,在数据获取的过程中进行浓度数据的在线计算。另一种方法是,收集所测得的标准和样品的原始数据,然后在一次分析过程结束后再进行脱机计算,不过,校准曲线通常不能日复一日地储存,每次分析必须建立新的校准曲线。
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