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高效过滤器现场安装以后检漏是确认高效过滤器及配套的安装静压箱,没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果高效过滤器装置经检漏是合格的,可以确保洁净室的安全可靠的运行,如此时室内洁净度仍未达标,应从洁净室的其它方面查找原因。本文对洁净室终端及相关净化设备内的高效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
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