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PHI X –Tool 是ULVAC-PHI公司最新推出的智能X-射线光电子能谱仪的产品;PHI X-Tool继承了PHI独有的、专利设计的扫描微聚焦X射线源,并采用了高收集效率的静电分析器和输入透镜系统,实现了微小区域的高灵敏度的分析,并且运用扫描型X射线在样品表面扫描,且利用扫描和输入透镜的信号同步设计,以及DEM(Dynamic Emittance matching)匹配,亦在大面积时候,同样有高得灵敏度和分辨率,同时可以快速进行面分析,线扫描。
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