XPS深度剖析概述

在材料分析表征领域，除了要获得样品表面的成分外，人们还希望了解样品在纵深方向上，不同成分是如何分布，以全面掌握样品的各种信息；X-光电子能谱仪 (X-ray Photoelectron Spectroscopy 简称XPS)，作为一种常规样品表面成分表征手段，除了可以提供样品表面的成分和元素的化学状态，还可以配合溅射离子枪，对样品进行逐层剥离，获取样品在深度方向的成分和化学态信息。最常规的是Ar离子枪，目前，ULVAC-PHI除了提供高性能Ar离子枪外，还可以根据用户特殊的应用需求，提供C60离子枪（10kV，20kV两种）、和气体团簇离子枪Ar-2500 （GCIB）供用户选择。