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锤子
深度剖析可以用来表征特定元素沿着样品深度方向上浓度的变化,拓展XPS在材料分析中的应用,而往往在做深度剖析时,需要预先知道一些样品的信息,及样品的膜层结构,同时也要知道每一层所含有的元素和大概的膜层厚度,以便于深度分析时,设定分析条件。 但是,当样品信息未知的情况下,是否可以确定样品中所含元素,纵深方向上的分布信息呢?对XPS而言,完全没有问题,可以采用全元素深度分析。图1展示了XPS全元素深度分析的图谱。
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