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PHI MultiPak 是电子谱分析中,功能最强大的数据后处理软件之一,支持谱峰识别、化学态信息提取、定量分析,同时也集成了大量的标准图谱数据库。PHI MultiPak同时还整合了强大高级算法工具,可以进行数据集合的批处理,方便的将数值结果导出为其它格式。 PHI MultiPak用户界面如图1所示。本期电子报就如何使用MultiPak对深度剖析数据进行处理,即如何使用最小二乘法(LLS)和目标因子法(TFA)处理XPS深度剖析数据,做详细的介绍。
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