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锤子
简介：
俄歇电子能谱（AES）能测量的俄歇电子只能来自样品表面约0.4-5nm的最外层，因此被称为表面分析的仪器。在实际应用中，人们还需要了解样品沿深度方向的元素分布情况，也就说需要将表面的二维分析扩展为三维深度剖析，如此仪器必须配备离子枪，对样品表面进行剥离。因为俄歇能谱仪能够控制比较小的分析面积，配上性能优越的离子枪，用溅射的方式能取得深层的元素分布情况。AES在材料分析中的应用，往往在做深度剖析时，需要预先知道一些样品的信息，及样品的膜层结构，同时也要知道每一层所含有的元素和大概的膜层厚度，以便于深度分析时，设定分析条件。
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