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锤子
德国Centec -- 半导体制造业中氢氟酸（HF）浓度在线测量
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：雷迪美特中国
- 上传时间：2015/1/13 10:15:28
- 文件大小：421K
- 下载次数：28
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简介：
半导体制造是用来制造集成电路在日常的电气和电子设备的发展历程。在光刻和化学处理步骤期间，电路逐渐在硅晶片上创建多个步骤的顺序。氢氟酸（HF）是用于清洗和湿法化学蚀刻晶片。HF的浓度是绝对关键的制造过程的结果和测定精度最高的基于密度的测量。
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