无尘室标准—无尘室(无尘车间)等级划分
- 类别:其他资料
- 上传人:上海沪净
- 上传时间:2015/3/13 8:42:26
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简介:
无尘室(洁净室)根据洁净程度不同分很多等级。
? ??目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多,数字越小,洁净等级越高。?
无尘室(洁净室)1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗?;
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