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锤子
作为通用的能量分析器,半球形能量分析器(SCA/CHA)见图1,既可以用于光电子能谱仪(XPS),也可以用于俄歇电子能谱仪(AES)。考虑到俄歇电子发射效率低,为了将俄歇电子从背景信号中分离出来,提高俄歇电子检测灵敏度,SCA/CHA用于俄歇电子能谱仪时,首要的是提高俄歇电子传输效率,而不是提高谱仪的能量分辨率。本文将着重介绍SCA/CHA在俄歇电子分析中的应用。
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