光谱椭偏仪（MME）R.pdf

类别：仪器样本
上传人：Andy8148
上传时间：2015/7/28 17:42:36
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简介：

光谱椭偏仪MME根据不同原理、特点以及应用，分为ME序列、MME序列和ME-L序列。光谱椭偏仪采用光学技术，测量精度高，适合超薄膜，与样品非接触，对样品无破坏性且不需要真空，可用于检测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构。

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