超纯水水质分析方法

超纯水水质分析方法 中国科学院半导体研究所 质量控制中心 目 录 1、 电子工业与超纯水………………………………………………………………………………3 2、 水质标准…………………………………………………………………………………………3 2.1电子级水国家标准………………………………………………………………………………3 2.2国际半导体制造商水质…………………………………………………………………………3 3、超纯水中杂质的污染源…………………………………………………………………………5 3.1制备超纯水的水源………………………………………………………………………………5 3.2材料的影响………………………………………………………………………………………5 3.3环境的影响………………………………………………………………………………………6 3.4取样方法影响……………………………………………………………………………………6 4、 纯水水质分析方法的选择………………………………………………………………………6 4.1阳离子的检测……………………………………………………………………………………6 4.2阴离子的检测……………………………………………………………………………………7 4.3硅(二氧化硅)的检测 ……………………………………………………………………………8 4.4电阻率的检测……………………………………………………………………………………8 4.5有机物的测定...…………………………………………………………………………………10 4.6微粒数的检测……………………………………………………………………………………11 4.7细菌的检测………………………………………………………………………………………13 4.8高纯水中细菌内毒素的测定……………………………………………………………………14 5、 超纯水的取样方法及容器的处理………………………………………………………………17 5.1容器的准备………………………………………………………………………………………17 5.2取样瓶处理方法…………………………………………………………………………………17 5.3取样方法…………………………………………………………………………………………17 5.4水样的存放条件…………………………………………………………………………………17 5.5样品的包装与运输………………………………………………………………………………19