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锤子
用于SEM（EBSD)分析的大面积样品制备新手段
- 类别：其他资料
- 上传人：欧波同
- 上传时间：2015/8/13 15:09:59
- 文件大小：478K
- 下载次数：21
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消耗积分 : 免积分
简介：
GATAN 第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS II)是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备。对于同一个样品，可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。PECSII是一款完全独立、结构紧凑的台式设备。采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品，用于在SEM，光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。
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