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锤子
简介：
微电子机械系统(MEMS)，是20世纪80年代迅速发展起来的一门综合性新兴学科。微电子机械系统包括微能源、微驱动器、微传感器、微控制器和微操作器等，集成于一个微小的空间，实现一种或多种设定的功能。MEMS技术代表着最为先进的制造技术，利用MEMS技术制造的可变形反射镜，是可变形反射镜的发展支撑。 可变形反射镜不仅可作为自适应光学系统的核心部件，在天文望远镜以及详查相机上得到了应用，近几年来还成功地在光束净化、光束整形、激光腔内像差校正以及医学人眼像差的检测与校正等多方面都得到了应用。
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