薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:北京众星联恒
  3. 上传时间:2015/12/1 9:28:40
  4. 文件大小:768K
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简介:

全球首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统。曝光时间仅为8s,入射角调到与临界角接近,可以达到实时沉积的亚单层灵敏度。

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