大样品台AFM在半导体工业的应用

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:KLA
  3. 上传时间:2015/12/16 14:36:49
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简介:

是德科技5600LS AFM/SPM 集成了最新的研发技术,具有分辨率高、稳定性好、热漂移小等特点,是独一无二的、高精度、大样品台原子力显微镜。它配有200mm的真空吸盘,样品尺寸直径最大可至12英寸,厚度可达30mm。根据需要,5600LS AFM 也可安装12英寸硅片,或是同时安装12 片2英寸硅片。在半导体加工、信息存储、LED、微制造、高效能源研究等领域具有广泛应用前景。

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