消耗积分 : 10积分 移动终端:免积分
简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。椭偏仪可以测量漫反射粗糙而薄的膜的厚度 和折射率,实验表明,入射角较大时,测量误差 较小,可用“多角入射法”直接判断膜厚周期的整 数倍,从而求得薄膜的真实厚度。但对于漫反射 系数和粗糙面厚度的确定还存在一些问题需要深 入探讨。
<< 查看更多
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
品牌合作伙伴
珀金埃尔默八月热招职位,研发、财务等
锤子