Janis 低温真空微操作探针台

Janis 公司能为芯片、晶圆片和封装器件提供整套低温真空探针系统。全球很多国家实验室、工厂和大学使用该公司产品。使用的领域包括半导体、MEMS、超导、电子学、铁电子学、材料科学、物理学和光学等。低温探针可以是桌面式或独立式系统，包括一个使用液氦或液氮的超高效率连续流制冷机（温度范围从3K到475K）[可选择600K]，可快速制冷，对样品不产生振动。典型的四探针使用直流（或低频信号）和微波信号来探测器件（也可以是二探针、六探针或八探针）。所有系统都建立了高标准质量控制体系。通过四十多年以来坚持不懈对产品卓越品质的追求以及对客户售前和售后的鼎立支持，Janis产品在低温设备方面是你最理想的选择。  低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件  可以应用在半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学领域  探针可以设计为直流或者低频信号、微波信号或者两者均有，典型的使用是一个系统含有4个探针  高效率的连续流低温制冷系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K  无制冷剂制冷系统可以提供5K，10K以及15K测量温度  主要的用户设计政府，工业以及大学的实验室 各类探针台基本参数一览表： 类型 液氮/液氦制冷型 闭循环制冷型 超高真空型 真空型 型号 ST-500 探针台 ST-100 探针台 10 K 5 K UHV-ST-400 RT-SP 工作温度 液氦：3 K - 475 K 液氮80 K - 475 K 液氦5 K - 475 K 液氮80 K - 475 K (可选700 K) 10 K - 325 K (可选475 K ) 4.5 K - 325 K (可选475 K ) 5 K - 700 K 300 K - 700 K 样品尺寸 （直径） 52 mm 25 - 50 mm （可选100nm） 52 mm 52 mm 25 - 50 mm (可选100 mm ) 25-50mm (可选100 mm ) 振动幅度 +/- 25 nm < 1µm 探测范围 （直径） 25-50 mm 14 - 50 mm (可选100 mml) 50 mm 14 - 50 mm (可选100 mm) 14 - 50 mm (可选100 mm ) ◆ 我们可根据客户需求定制探针台，以满足您不同需要. 一、 低温探针台 液氦/液氮制冷系统 （包括ST-500系列探针台和ST-100系列探针台） 1) ST-500系列探针台 ST－500系列探针台是高性能研究仪器，为晶片和器件提供便宜的真空和低温探测，使用的减振动技术保证了样品位置的稳定。ST-500制冷机提供了能高效地制冷样品的机制。样品安放在一个可以拆卸的样品卡盘（支架）上，样品卡盘可以是各种形状，包括接地型、同轴型或三轴型。样品周围是绝热罩，尽量减小辐射对样品的影响，从而使样品的温度尽可能最低，使用高效液氦或液氮制冷剂传输线制冷样品，包括一个集成可调制冷剂流量控制阀，两个硅二极管温度计和一个高瓦数加热器用来在3K－475K的大温度范围内调节和监控样品的温度，制冷机底部法兰可选光学窗口进行光学实验。 标准配置： • 低振动ST-500型制冷剂、真空腔 • 样品支架、低温防辐射罩 • 带针孔流量控制阀的高效液氦/液氮传输 • 分别安装在控制热交换器和样品支 架上的 两个硅二极管温度计 • 用来控温的筒式加热器 • 低温防辐射窗口 • 带有探针支架臂、低温探针支架和低频或中频探针的四个集成X-Y-Z 探针台. • 四个边焊波纹管可以使探针转动 • 10针电子电子feedthrough. 可选配置: • 带光纤光源的单像管, 可水平和垂直调节的下桁架, CCD照相机, LCD彩色监控器，可放大倍数有 7:1,12.5:1,16:1； • 国际领先的控制器供应商提供制冷机温度控制器； • 涡轮泵站包括一个52 L/s的涡轮分子泵，宽量程真空硅和读出电路，不锈钢软管线,可使用机械泵或膜片泵作为前级泵； • 防振台，利用空气弹簧隔振体和黑色电镀支架固定的30” x 30”工作平面； • 为防振台配备的便携式超静音空气压缩机 • 存储50升液氮杜瓦以及高效传输线. 2) ST-100系列探针台 ST-100连续流型、变温制冷系统，利用内部相分离和多个螺旋线热交换来确保传输的氦的热焓的充分利用。配合高效多层超绝缘Janis的ST-FHT液氦（或液氮）传输线，提供了一个高度稳定的特别微小振动的系统。该线包括位于储存杜瓦的底部流量控制阀，减小热荷进入流动制冷剂中。允许储存杜瓦在1.1bar的低压下，例如瞬时无循环泵或其它需要的循环控制时系统的全面正常工作。传输线的柔性能够弯曲成一个半径是12" (30 cm) 而不影响制冷剂的流动或效率。配备自动温度控制器（稳定度为0.05 K)，带有IEEE-488界面和LabView驱动，工作温度范围在~5 K to 325 K (可选475 K). 标准系统配有一个镀金OFHC铜样品支架，可放置一个25 mm x 25 mm样品。另加防辐射窗口可截断样品更大的热辐射，可测量更大的尺寸样品(大于 4"). ST-100-UHT-5TXKEL-1FO-1型超高温探针台 规格 温度范围： 3 K to 475 K (DC 探针), 3 K to 425 K (MW 探针) (可选475 K) 温度稳定性: +/- 50 mK 降温时间: ~30 min to 10 K, 60 min to 5 K 振动范围: +/- 25 nm 位置漂移: +/- 150 nm in 30 分钟 工作频率: DC/LF 探针: DC to 10 MHz 微波探针: 0-40 GHz, 0-50 GHz, 0-67 GHz 光学窗口: 2.0" 透明窗口 单像管光学分辨率 放大倍数7:1, 4.2μm /放大倍数12.5:1, 3.4μm /放大倍数16:1, 2.2μm ST-500-1 ST-500-2 最大样品尺寸（直径）: 42 mm 52 mm 探测范围: X-axis: 25 mm 50 mm Y-axis: 25 mm 15 mm（使用MW探针) 40 mm 35 mm（使用MW探针) Z-axis: 10 mm 18 mm 探针移动（刻度单位) X, Y, Z-轴 10μm 12.5μm 探针平动分辨率: X, Y, Z-轴 5μm 6.25μm 二、 无制冷剂制冷型探针台 Janis无制冷剂系列探针台为研究者提供真空和低温探测，无需液体制冷剂。10 K and 4 K 制冷机利用可靠的Gifford-McMahon (G-M)技术为样品提供稳定的和便宜的样品制冷。典型的应用包括MEMS, 纳米电子学,超导，铁电子学，材料科学和光学等。 每个低温探针台需要一个制冷机，Janis有四十多年的设计和制造低温制冷机的经验，是该领域世界领导者。大量的制冷机设计制造经验成功地在没有使用制冷剂和没有为样品引入不必要的振动和噪声的情况下应用于样品的制冷和探测。样品安放在一个可以拆卸的样品卡盘（支架）上，样品卡盘可以是各种形状，包括接地型、同轴型或三轴型。样品周围是绝热罩，尽量减小辐射对样品的影响，从而使样品的温度尽可能最低。制冷工质通过低振动/高热导与样品卡盘和热屏蔽罩相连。硅二极管温度计和一个高瓦数加热器用来监控和控制样品在任何温度工作时温度控制在100mK之内。 标准配置 1 与低温工质匹配的压缩机和柔性氦气传输线，充满高纯氦气。 2 集成带有空气储存箱的空气弹簧隔振体支架 3 控制和监控样品温度的二个硅二极管 4 控制温度的筒状加热器 5 安装防辐射窗口的低温热辐射罩 6 带有探针支架臂、低温探针支架和低频或中频探针的四个集成X-Y-Z 探针台 7 四个边焊波纹管可以使探针转动 8 温度计和加热器的电学穿通装置 可选配置 1 带光纤光源的单像管,可水平和垂直调节的下桁架,CCD照相机,LCD彩色监控器，可放大倍数有7:1, 12.5:1, 16:1； 2 国际领先的控制器供应商提供制冷机温度控制器； 3 涡轮泵站包括一个52 L/s的涡轮分子泵，宽量程真空硅和读出电路，不锈钢软管线,可使用机械泵或膜片泵作为前级泵。 4 为防振台配备的便携式超静音空气压缩机 5 为样品光学探测/激发的微操作光学口 6 存储50升液氮杜瓦以及高效传输线. 7 集成高温度工作台，上限温度达450 K. 规格 最低温度 根据不同型号：从4.5 K 到15 K 上限温度 标准：325 K, 可选475 K 工作频率: DC/LF 探测: DC 微波探测:0-40GHz,0-50GHz,0-67GHz 单显管的光学分辨： 7:1 zoom, 4.2 microns 12.5:1 zoom, 3.4 microns 16:1 zoom, 2.2 microns 探测范围: 根据具体型号，范围分别是 X-axis: 50 mm Y-axis: 25-40 mm Z-axis: 10-18 mm 探针移动（刻度单位) X, Y, Z-轴 10-12.5 microns 探针平动分辨率: X, Y, Z-轴: 5-6.25 microns 三、 超高真空探针台系统 Janis在UHV环境里为电学材料提供了一套完整的探测台系统。既有几款标准配置，也可以根据客户需要专门定制。Janis有40多年的制造UHV的经验利用这些技术制造UHV探针台。 典型的UHV探针台包括： 1 金属法兰(CF)密封的不锈钢真空腔 2 UHV 级电学穿通装置和电子探针 3 UHV 级光学观察窗 4 可烘烤至120 °C 5 室温或低温配置 6 样品尺寸直径25 – 50 mm. 7 集成2 – 8个x-y-z探针操作器和电子探针 8 温度范围从5 – 700 K 9 观察样品和探针的单显器、照相机和监视器 可选项包括： 1 更大直径真空腔和样品支架 2 不开腔更换样品的装载互锁 3 为最大泵速和最低背底压强而集成UHV涡轮泵 4 防振台 四．客户定制探针台 如果以上探针台没有你合适的选择，请联系我们并且告诉我们您的需要，Janis工程师将度身为您定做合适的探针台，让我们的探针台真正成为您实验的理想平台！