利用RGA残余气体分析仪进行真空过程气体表征

类别：分析方法/应用文章
上传人：北京英格海德
上传时间：2005/3/13 21:41:54
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简介：

利用Hiden RGA残余气体分析仪可以进行各种真空状态下的残余气体分析和过程、工艺监测。可以实时在线得到实验过程的真实情况，即使反馈处理过程中出现的问题。在等离子体工艺过程中，更是可以有效地表征等离子体产生的过程。

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