应用纳米压入仪（NHT）测量集成电路中金质连线的性质

应用纳米压入仪（NHT）测量集成电路中金质连线的性质。展示了纳米压痕仪在微电子领域的应用。 瑞士CSM仪器公司 ----- 材料及其表面机械性质检测仪器领域的全球领导者。CSM仪器公司总部位于瑞士，在美国和德国设有分公司，在全球各主要国家拥有自己的销售、服务网络。 瑞士CSM仪器公司三十年来致力于为全球材料、物理、机械工作者提供先进、精准、全面的材料机械性质测试仪器、分析咨询以及测试服务。我们的主要产品包括： 测量材料硬度和弹性模量的纳米级、微米级仪器化压入测试仪（NanoIndentation, MicroIndentation）； 界定膜基结合强度、薄膜抗划擦能力的纳米级、微米级、大载荷划痕测试仪 (Scratch tester) ； 包括真空、高温以及线性往复运动等选项的摩擦磨损测试仪、纳米摩擦仪 (Tribometer) ； 最简便易用的膜厚测试仪； 用于三维成像表征材料表面形貌的原子力显微镜 (AFM) 和共焦显微镜 (Confocal Microscope) 。 我们的开放式全自动测试平台可以让您任意组合不同测试模块，并支持多试样全自动化测量。