薄膜的磁控溅射沉积研究

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:北京英格海德
  3. 上传时间:2005/7/12 22:10:59
  4. 文件大小:54K
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简介:

Hiden的EQP等离子体质量、能量分析仪在薄膜的磁控溅射沉积研究中可以提供残余气体分析、随磁控源开关产生的气体分析、离子能量分布、中性粒子分析等多种分析手段。

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