用Leica EM TIC3X三离子束切割仪解剖太阳能电池
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:天津徕科光学
- 上传时间:2016/5/9 12:00:39
- 文件大小:224K
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简介:
这种复合型材料要获得有效截面,机械切割磨抛方式很难保证切割面的平整,也无法避免样品剖面的污染和边缘损伤;如果采用聚焦离子束FIB加工,应对几百微米的加工区域,将耗费大量时间和带来极高的使用成本。因此,氩离子束切割仪几乎成为高效率、低成本的获取无应力损伤和无污染的平整剖面的唯一的选择。
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