利用FT150测量Au/Pd/Ni三层膜
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:日立仪器
- 上传时间:2016/5/16 16:54:36
- 文件大小:340K
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简介:
本资料中,介绍了利用FT150对微小范围内Cu质地上薄的Au/Pd/Ni三层膜进行测量性能评价。另外,FT9500X也可测量并进行结果比较。
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