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锤子
海能仪器：硫磷混酸体系用于半导体研磨剂（液）微波消解（微波消解法）
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：海能技术
- 上传时间：2016/5/27 10:51:14
- 文件大小：1396K
- 下载次数：8
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简介：
磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式，抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的。因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控，对于半导体产品影响深远。我们需要找到一种有效的成分分析方法，来解决研磨剂成分分析。下面，本文以某研磨剂为样本，探索研磨剂的微波消解方法。
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