利用 Cary 全能型测量附件深入研究薄膜响应 —解决光谱振动问题

关于此项工作的更多详细信息首次发表于 Optics Express 16129，2012 年 7 月2 日，第 20 卷，14 号 [1]。 高质量多层光学镀膜的设计师和制造商需要使用可靠的方法来准确测量薄膜材料的光学常数。他们通常使用紫外-可见-红外分光光度计测得样品在标准入射和接近标准入射情况下的透射率 (T) 和反射率 (R)。了解所生成数据的准确性和任何误差的来源（随机或系统）将可以得到更可靠的样品表征数据 [2, 3]。 测量数据集中每一个点的随机误差（随机噪音）都会有所不同，文献 [2] 中已经指出，随机误差对于表征结果影响很小。但是，系统误差一般来说会造成光谱表征偏移，或导致 T 和 R 曲线的大幅度波长变化，尤其对于薄膜参数精确测定的影响更为显著 [2]。