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锤子
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在扫描电镜发展历史中,长期都是不断提升二次电子探头的能力,使得二次电子分辨率不断提升,不断稳定,背散射探头的功能始终被作为辅助功能,甚至做为选配探头,一直难以体现其实际能力。或许是能谱仪 EDS 的问世,背散射探头 BSD 才慢慢开始暂露头角。到了台式扫描电镜的流行,又让背散射探头 BSD 的能力发挥得淋漓尽致,当然这也仅限是优秀背散射探头的 BSD 探头。
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