您还有0次抽奖机会
锤子
溅射离子泵主要由阳极、阴极、永磁铁和泵体四大部分组成。 阳极是由多个不锈钢圆筒排列组成的蜂窝状结构, 阴极是两块平行的钛合金板, 将阳极夹在中间, 三者相互间保持一定距离并通过高压绝缘陶瓷连接。阳极施加3~7 kV 直流高压, 阴极接地。阴阳极板被泵体密封在内部, 在泵体外部吸附相对放置的两块永磁铁, 磁场方向与极板垂直, 磁感应强度1000~2000 Gs。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。