椭圆偏振光谱仪研究ZnO薄膜

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:HORIBA
  3. 上传时间:2016/9/21 15:03:11
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简介:

The sensitivity of Spectroscopic Ellipsometry is such that characterisation of different doping concentrations of Al in ZnO is possible. Further to this the UVISEL PMSE allows the highest sensitivity and precision of the ellipsometric angles across the full range [0°, 360°], even when ' is close to 0°, and this performance is essential when characterising thin transparent films

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