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锤子
使用相位调制型椭圆偏振光谱仪表征III-V族半导体
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：HORIBA
- 上传时间：2016/9/22 9:56:09
- 文件大小：243K
- 下载次数：2
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简介：
The high accuracy characterisation of the thicknesses and optical properties of III-V semiconductors has been successfully performed using the UVISEL Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer. Moreover, Spectroscopic Ellipsometry can be applied to characterise multilayers of miscellaneous binary, ternary semiconductors and alloys (MQW structure, PIN structure, pump laser, laser semiconductor,…).
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