匀胶机旋涂仪的工作原理

类别：其他资料
上传人：安赛斯
上传时间：2016/9/29 17:37:54
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简介：

介绍匀胶机的工作原理、影响因素和常见问题。匀胶转速是匀胶过程中最重要的因素。基片的转速（rpm）不仅影响到作用于光刻胶的离心力，而且还关系到紧挨着基片表面空气的特有湍动和基片与空气的相对运动速度。

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