ICP-MS 测定氨气吸收液中的杂质元素

目前世界上很多的半导体生产都在中国大陆本土，相对应的一些半导体产业的下游企业，生产高纯氨气供应给上游企业。重金属含量是是其中的一个重要指标。一般测定主要是把氨气通过去离子水吸附，测定吸附后去离子水中的重金属。由于要求氨气纯度很高，而且氨气不能够无限被去离子水吸附。去离子水吸附氨气最高浓度20%，所以对测量仪器具有很高的灵敏度要求。电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定微量元素具有操作简单、干扰少等优点, 而且可多元素同时测定、灵敏度高、动态范围宽, 可测定氨水中的重金属元素。ICP-MS 法可进行多元素同时分析, 具有快速、准确等特点。下面介绍ICP-MS 测定氨水中的重金属杂质元素。