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锤子
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背散射电子(BSE)是SEM中重要成像信号,可以直接观察到样品的成分差异。日立最新场发射扫描电镜SU5000可以在极低电压条件下进行BSE观察,与此同时,使用TOP探头的二次电子(SE)在极低电压条件下观察样品的形貌衬度也会更加突出,二者可以相互配合使用,使得在极低电压条件下使用BSE观察较难样品非常有效,这将极大拓展背散射电子信号的应用领域。
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