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锤子
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在电子元器件的研制阶段、失效分析可纠正设计和研发过程中的错误,缩短研发周期;在电子元器件的生产、测试和使用阶段,失效分析可找出电子元器件的失效原因和引起失效的责任方。扫描电镜作为电子元器件失效分析的一种工具有其独特的特性,扫描电镜除了能够有效地观察试样的形貌之外,还具有能提供电压衬度像、电子束感生电流像、背散射电子像和吸收电子像等光学显微镜所达不到的功能。
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