FIB-SEM-Ar“三束“系统
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:天美
- 上传时间:2017/3/30 15:17:42
- 文件大小:798K
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简介:
日立最新双束FIB系统 NX2000(图1)可以通过对已经加工好的样品再用Ar+离子束进行加工,达到更好的加工效果 。
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