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锤子
快速测量计算扩散层薄层电阻、结深和表面浓度 硅太阳能电池纵向载流子浓度分布测试
- 类别：招标文件
- 上传人：瞬渺
- 上传时间：2017/5/4 10:38:32
- 文件大小：78K
- 下载次数：10
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消耗积分 : 免积分
简介：
快速测量计算扩散层薄层电阻、结深和表面浓度 全自动电化学CV 分布仪 CVP21 简介： 本设备适用于评估和控制在半导体生产中的外延过 程并且以被使用在多种不同的材料上， 例如：Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides.CVP 21 的净室和模块化的系统设计结构使得本系统可以高效率，准确的测量 半导体材料（结构，层）中的掺杂浓度分布．选用合适的电解液与材料接触，腐蚀，从而得 到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制
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