利用NexION 2000 ICP-MS对半导体级盐酸中的杂质进行分析
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:PerkinElmer
- 上传时间:2017/5/23 10:36:02
- 文件大小:7386K
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简介:
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)具备精确测定纳克/ 升(ng/L,PPT)甚至更低浓度元素含量的能力,是最适合测量痕量及超痕量金属的技术。然而,常规的测定条件下,氩、氧、氢离子会与酸基体相结合,对待测元素产生多原子离子干扰。
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