利用原子层沉积系统ALD沉积不同薄膜材料获得周期有序微格结构

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:QUANTUM量子科学
  3. 上传时间:2017/6/21 15:28:26
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简介:

通过高分子网状模板沉积不同薄膜材料(Au, Cu, Ni, SiO2, poly(C8H4F4))获得周期有序微格结构,其密度在0.5 mg/cm3 to 500 mg/cm3之间。以压力法测得杨氏模量和强度,并且进行了密度定标。在低相对密度的情况下,观察到与微格材料无关的50%或更高的压力应变恢复。一个分析模型精确的预测了在可恢复性“伪超弹性”与不可恢复塑性形变之间的转换关系,并适合所有研究材料。此次研究的材料在储能应用,可展开结构,声,冲击,振动阻尼研究方面有着很高的关注度。

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