Energetiq LDLS EQ-99X EQ-99XFC EQ-77 激光驱动白光光源技术介绍讲义

  1. 类别:课件讲义
  2. 上传人:屹持光电
  3. 上传时间:2017/8/8 14:29:21
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简介:

nergetiq光源是一款高亮度,高稳定、长寿命宽谱光源,采用革命性的光源技术——LDLS&;激光驱动光源技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性,高性能,高亮度,长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围,谱线包括软X 射线(SXR),远紫外线(EUV), 深紫外线(DUV), 并覆盖从可见光到红外光区(IR),波长范围从 170nm到2100nm 以上。无电极的 LDLS 技术可以产生少量,高亮度的等离子体,以获取高效的光源,并且延长了灯的使用寿命。改技术资料详细介绍LDLS激光驱动白光光源技术。

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