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锤子
北京理化赛思：应用织构极图研究ZnO外延膜的晶体取向特征
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：北京理化赛思
- 上传时间：2017/9/29 17:02:13
- 文件大小：131K
- 下载次数：6
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简介：
用MOCVD法在蓝宝石衬底上生长ZnO外延膜。用理学D/max 2550转靶衍射仪测量ZnO外延膜织构。观察到试样存在两种晶体取向关系：ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]及ZnO[10-10]//Al2O3[10-10]。计算得到晶格取向极点分布平均半高宽为12.26O，且前一种取向晶体的数量是后者的13倍。探讨了两种取向的热力学稳定性。给出了外延膜取向特性的逐层分析结果。
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